光刻胶一般由4部分组成:树脂型聚合物(resin/polymer),溶剂(solvent),光活性物质(photoactivecompound,PAC),添加剂(Additive)。其中,树脂型聚合物是光刻胶的主体,它使光刻胶具有耐刻蚀性能;溶剂使光刻胶处于...
其主要原因是,光刻胶中的氮气在暴露于紫外线时产生氮气,其中大部分粘附在光刻胶表面,部分渗透到未暴露的光刻胶中。当该层较薄时,产生的氮气量较小,氮气在热熔过程中直接排放,不影响图案;而当该层较厚时,产生大量...
根据以上网址回答中的描述,309胶主要成分是氯丁橡胶,或者叫做聚2-氯-1,3-丁二烯。氯丁橡胶的具体介绍如下:http://en.wikipedia.org/wiki/Neoprenehttp://baike.baidu.com/link?url=CkGr6p2zq1bFt0xc9rAK2HtB4memmAq...
本来是正胶,在一定的温度下可以作为负胶使用,这就是AZ5214的反转特性。
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显影液的世界:选择与应用正性显影液如TMAH、NaOH等,负性光刻胶如AZ326MIFDeveloper,每种都有其适用的场景,关键在于精确匹配光刻胶特性。总结晶圆显影,既是一门科学,也是一门艺术。理解其原理与控制手段,对于...
az光刻胶主要成分是光敏化合物和聚合物,容易发生化学反应,非常脆弱的,一般使用棕色的玻璃瓶包装,再套上黑色塑料袋进行储存。az光刻胶温度和室温相同,原因是与室温相同可以大减少光刻胶的温度波动,从而减少工艺波动。而...