电子探针的简单原理(1)电子光学系统。电子束直径0.1——1μm,电子束穿透深度1——3μm。被激发原子发射特征X射线谱过程如下:围绕原子核运动的内层电子,被电子束的电子轰击后,其他外层电子为补充轰击出的电子而发生跃...
回电子探针X射线显微分析仪(X-RayElectronProbeMicroanalyzer,EPMA)1.1概述1.2EPMA基本原理1.3仪器基本结构1.4定性定量分析方法1.5样品制备1.6定量分析的步骤及注意事项1.1EPMA概述•电子探针X射线显微分析仪(ElectronprobeX-...
1.基本原理电子探针的电子发射出电子,经加速电压加速、电磁透镜聚焦,形成直径小于1μm的电子束,轰击样品待分析微区,在几个立方微米的范围产生特征X射线、连续X射线、二次电子、背散射电子、阴极荧光等信号,将激发的...
其原理是:用细聚焦电子束入射样品表面,激发出样品元素的特征X射线,分析特征X射线的波长(或能量)可知元素种类;分析特征X射线的强度可知元素的含量。其镜筒部分构造和SEM相同,检测部分使用X射线谱仪,用来检测X射线的特征...
电子探针是通过向样品表面发射电子,利用电子和样品的相互作用来探测样品性质的一种表面分析技术。它可以提供高空间分辨率和高灵敏度的表面形貌、组成和电子结构等信息。而二探针和四探针则是两种电学性质测量方法。二探针法是...
电子探针有三种基本工作方式:点分析用于选定点的全谱定性分析或定量分析,以及对其中所含元素进行定量分析;线分析用于显示元素沿选定直线方向上的浓度变化;面分析用于观察元素在选定微区内浓度分布。由莫塞莱定律可知,各种...
电子探针分析的原理是:以动能为10~30千电子伏的细聚焦电子束轰击试样表面,击出表面组成元素的原子内层电子,使原子电离,此时外层电子迅速填补空位而释放能量,从而产生特征X射线。用波长色散谱仪(或能量色散谱仪)和检测...
测定该X射线的波长和强度,即可对该微区的元素作定性或定量分析。将扫描电子显微镜和电子探针结合,在显微镜下把观察到的显微组织和元素成分联系起来,解决材料显微不均匀性的问题,成为研究亚微观结构的有力工具。
电子探针又称微区X射线光谱分析仪、X射线显微分析仪。其原理是利用聚焦的高能电子束轰击固体表面,使被轰击的元素激发出特征X射线,按其波长及强度对固体表面微区进行定性及定量化学分析。主要用来分析固体物质表面的细小颗粒或...
它既可在分析时记录样品的外观形貌特征,又可对矿物的生长环带以及岩石中各个矿物分别进行分析,而不需要进行样品分离。而X射线荧光光谱分析是对样品进行整体分析的方法。电子探针与扫描电镜在仪器结构上十分类似。它也由电子光学...